稀有气体又称惰性气体，利用其不易发生化学反应等特点，稀有气体除用作保护气外，在工业、医学、尖端科学技术以及日常生活里应用广泛。

中科富海高纯电子特气项目，自主研发基于超低温制冷机的电子特气分离技术，设备整体撬装设计，氖氦氪氙产品纯度可达99.9995%以上，提取率90%以上，该项目已成功投产并稳定运行。

中科富海氖氦精制装置

主要特点：

l  基于小型低温制冷机的氖氦精制装置流程；

l  改变传统高压节流制冷方式，大大降低运行能耗；

l  整体撬装设计，大大减少现场工作量；

l  氖氦提取率>90%，纯度>99.9995%。

氖氦精制装置

高纯氖氦气体产品

中科富海氪氙精制装置

主要特点：

l  采用一次性化学法脱除碳氢化合物和精馏法提纯氪氙混合物的工艺，使装置更安全可靠；

l  氪氙提取率>90%，氪纯度>99.9995%，氙纯度>99.9995%；

l  安全可靠：贫氪氙液采用长周期运转的往复式液体泵加压至5.5MPa以上再汽化，加压至超临界，液氧可以避免烃的浓缩析出；

l  清除甲烷系统和分馏塔系统均采用整体撬装式结构，组件在工厂内安装完毕，并经严格检漏整体出厂，减少现场施工量，结构紧凑美观，减少占地面积，同时可保证产品制造质量。 

氪氙精制装置

高纯氪氙气体产品