中科富海专注于电子特种气体的研发、生产和销售，是国内特种气体的领域的生厂商和供应商。中科富海拥有专业的核心团队和成功的运营经验，能够生产供应高品质的高纯电子特气产品，拥有可靠安全稳定的运行经验和优质的气体供应链资源，可提供专业定制化设计方案及高质量的工程建设方案，为客户创造更大价值。
电子特气产品与应用
类 别 | 环 节 | 主要气体产品 | 作 用 |
电子特种气体 | 硅片制造 | 三氟化氮、氯化氢、氢气、氩 | 氯化、还原、溶解旋拉、环境气 |
氧化 | 三氟化氮、氯气、氯化氢、三氯乙烷、二氯乙烯 | 清洗、去除杂质 |
化学气相沉积CVD | 氨气、氦气、氧化亚氮、TEOS、TEB、TEPO、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等 | 形成CVD薄膜 |
光刻工艺 | 三氟化氮、氟气、氦气、氪气、氖气等 | 进行光刻 |
蚀刻工艺 | 三氟化氮、硅烷、氦气、四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯气、溴化氢、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等 | 刻蚀、改进气体、提高各向异性和选择性 |
离子注入 | 氟化砷、三氟化磷、磷化氢、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙气等 | P型和N型的形成 |
掺杂 | 三氟化氮、含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼 | 半导体的掺杂 |
电子大宗气体 | 环境气保护气 | 氮气、氧气、氩气、二氧化碳等 | 提供惰性环境氛围 |
中科昊海集成电路&光电材料电子特气项目
中科昊海三期投资建设集成电路&光电材料电子特气项目，总投资约5亿元，占地100亩。依托中科富海自主知识产权核心技术，以及充分利用昊源化工尾气资源，采用合成、低温分离、提纯等技术，生产出电子级高纯一氧化碳、电子级高纯二氧化碳、电子级高纯氨以及电子级稀有气体混配气。电子特气项目正在调试中，其利用昊源化工尾气资源，采用合成、低温分离及提纯等技术，生产电子级高纯一氧化碳、二氧化碳、氨、甲烷及特种气体混配气，建成后将广泛应用于集成电路光刻机配套、OLED显示面板制造工艺、集成电路制造中的清洗工艺和蚀刻工艺等。
中科富氦电子特气项目
中科富氦（中山）气体开发有限公司气体纯化装置于2024年1月成功投产，产出纯度超过6N的超纯氪气、氙气产品。氪气、氙气在空气中的含量极少，加之其分离提取工艺要求较高等原因，称为“黄金气体”。6N级超纯氪气、氙气在国内并不多见，其生产技术曾一度被国外企业垄断。中科富氦采用先进的精馏结合纯化工艺流程和设备配置；其主要通过进料排、精馏塔、纯化器三套主要设备协同工作，使原料得以高效提纯。此外，装置还配备了膜压机和真空泵等辅助设备，确保生产过程的稳定性和高效性。最终实现将氪氙原料气体从5N纯度精馏提纯至6N纯度甚至更高。该套装置设计产能为氪气6000Nm³/a和氙气600Nm³/a，可充分满足台积电等高端客户需求。未来，中科富氦将持续深耕低温精馏和纯化工艺，瞄准7N纯度标准不断前进，持续提升产品品质和生产效率，以满足日益增长的半导体行业需求。
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