中科富海专注于电子特种气体的研发、生产和销售，是国内特种气体的领域的生厂商和供应商。中科富海拥有专业的核心团队和成功的运营经验，能够生产供应高品质的高纯电子特气产品，拥有可靠安全稳定的运行经验和优质的气体供应链资源，可提供专业定制化设计方案及高质量的工程建设方案，为客户创造更大价值。
电子特气产品与应用
类 别 | 环 节 | 主要气体产品 | 作 用 |
电子特种气体 | 硅片制造 | 三氟化氮、氯化氢、氢气、氩 | 氯化、还原、溶解旋拉、环境气 |
氧化 | 三氟化氮、氯气、氯化氢、三氯乙烷、二氯乙烯 | 清洗、去除杂质 |
化学气相沉积CVD | 氨气、氦气、氧化亚氮、TEOS、TEB、TEPO、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等 | 形成CVD薄膜 |
光刻工艺 | 三氟化氮、氟气、氦气、氪气、氖气等 | 进行光刻 |
蚀刻工艺 | 三氟化氮、硅烷、氦气、四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯气、溴化氢、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等 | 刻蚀、改进气体、提高各向异性和选择性 |
离子注入 | 氟化砷、三氟化磷、磷化氢、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙气等 | P型和N型的形成 |
掺杂 | 三氟化氮、含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼 | 半导体的掺杂 |
电子大宗气体 | 环境气保护气 | 氮气、氧气、氩气、二氧化碳等 | 提供惰性环境氛围 |
中科昊海集成电路&光电材料电子特气项目
中科昊海三期拟投资建设集成电路&光电材料电子特气项目，总投资约5亿元，占地100亩。依托中科富海自主知识产权核心技术，以及充分利用昊源化工尾气资源，采用合成、低温分离、提纯等技术，生产出电子级高纯一氧化碳、电子级高纯二氧化碳、电子级高纯氨以及电子级稀有气体混配气。本项目的实施，可以提高资源利用效率，有效降低能耗和生产成本。建成后产品将广泛应用于集成电路光刻机配套、OLED显示面板制造工艺、集成电路制造中的清洗工艺和蚀刻工艺等，进一步增强公司在电子特气领域的影响力，提高该领域的市场份额。
中科富氦电子特气项目
中科富氦（中山）气体开发有限公司2021年6月成立于广东中山，其地址位于广东省中山市三角镇高平园区，占地面积约为62亩，主要投资建设中科富海综合气体岛项目，项目总投资4亿元人民币。中科富海综合气体岛项目建设周期为12个月，将建设氢能供应生产线、氦气分装生产线、高纯空气产品生产线、电子特气生产线、办公用房及相关配套设施等，项目全部投产后3年内可达到最大产量。目标是打造大湾区的氦气供应基地、氢气供应基地及特种气体供应基地，同时成为中山市及周边区域的工业气体供应基地。
中科富鑫电子特气项目
江苏中科富鑫气体有限公司地处长三角的新材料科技产业园区——常州金坛经济开发区，于2022年1月成立，注册资本8000万元人民币，是依托母公司强大的研发与创新能力，由中科富海与常州湘玖材料合资成立的集工业气体、电子特气以及氢能源为一体的生产和供应基地。公司专注于气体领域，突破国外巨头的市场与技术壁垒，致力于解决我国半导体行业所需电子特气的卡脖子问题，为化工、新能源、半导体制程、液晶面板、LED、光伏等领域客户提供专业优质的气体产品及应用技术等一体化解决方案。
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